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| 1 | 晶片键合基础介绍显示文摘选择键合技术的程序通常依赖于一系列要求.如温度限制、密闭性要求和需要的键合后对准精度。键合的选择包括标准工业工艺.如阳极键合、玻璃浆料键合和黏着键合.以及新发展的低温共晶键合.金属扩散(共熔晶)键合和特定应用中的硅熔融键合。探索每一种方法的优势和劣势可以帮助我们对于某种应用采用何种键合技术做出更合理地决策。表1概括了晶片级键合的可供选项。 | Shari Farrens | 2007 | 集成电路应用2007，24，5： | 3 |
| 2 | 用于3D集成中的晶圆和芯片键合技术(英文)显示文摘3D集成技术包括晶圆级、芯片与晶圆、芯片与芯片工艺流程,通过器件的垂直堆叠得到其性能的提升,并不依赖于基板的尺寸和技术。所有的报道均是传输速度提高,功耗降低,性能更好及更小的外形因素等优势使得这种技术的名气大振。选择晶圆或芯片级集成的决定应基于几个关键因素的考虑。对于不同种类CMOS、非CMOS器件间的集成,芯片尺寸不匹配引发了衬底的变化(如300mm对150mm).芯片与晶圆或芯片与芯片的堆叠也许是唯一的选择。另外,当芯片的成品率明显地不同于晶圆与晶圆键合方法时,在堆叠的晶圆中难以使确认好芯片的量达到最大。在这种情况下,应将一枚或两枚晶圆划切成小芯片并仅将合格的芯片垂直地集成。只要适当地采用晶圆与晶圆键合工艺便可实现高成品率器件同类集成。晶圆间键合具有最高的生产效率,工艺流程简便及最小的成本。满足选择晶圆级或芯片级工艺总的工艺解决方案应结合对准和键合细节来考虑决定最终的设备选择和工艺特性。所有这些工艺的论证证实对于多数产品的制造3D集成是可行的,而且有些也已成为生产的主流。 | Shari Farrens | 2010 | 电子工业专用设备2010，，10： | 2 |
| 3 | Green chemistry: science and politics of change 显示文摘 | Poliakoff M Fitzpatrick J M Farren T R Anastas P T | 2002 | Science2002，297，： | 1 |
| 4 | Leptin,BMI,and a Metabolic Gene Expression Signature Associated with Clinical Outcome to VEGF Inhibition in Colorectal Cancer 显示文摘 | Pommier AJ Farren M Patel B | 2016 | Cell Metab2016，23，1： | 1 |
| 5 | Tazobactam-induced haemolytic anaemia, possibly caused by non-immunological adsorption of IgG onto patient' s red cells 显示文摘 | Broadberry RE Farren TW Bevin SV | 2004 | Transfus Med2004，14，1： | 1 |
| 6 | Green chemistry Science and politics of change 显示文摘 | Poliakoff M Fitzpatrick J M Farren T P | 2002 | Science2002，297，： | 1 |
| 7 | Performance and Wa-ter Conservation Potential of Multi-stream Rotating Sprinkler for Landscape Irrigation显示文摘 | Solomon K H Kissinger J A Farrens G P | 2007 | American Society of Agriculture and Bi- ological Engineers2007，23，2： | 1 |
| 8 | Green chemistry: science and politics of change显示文摘 | POLIAKOFF M FITZPATRICK J M FARREN T R | 2002 | Science2002，297，： | 1 |
| 9 | Increased incidence of non-Hodgkin lymphoma in inflammatory bowel disease patients on immunosuppressive therapy but overall risk is low显示文摘 | Farren ILl Ang Y Kileen P | 2000 | Gut2000，47，4： | 1 |
| 10 | Reduction of solid wustitein H2/H2O/CO/CO2 gas mixtures显示文摘 | Farren M Matthew S P Hayes P C | 1990 | Metallurgical Transactions B1990，21，2： | 1 |
| 11 | A review of observational gait assessment in clinical practice显示文摘 | B. Toro C. Nester P. Farren | 2003 | Physiotherapy Theory and Practice2003，，3： | 1 |
| 12 | OBSTRUCTIVE SLEEP APNEA AND CENTRAL SEROUS CHORIORETINOPATHY显示文摘 | Frank L. Brodie Emily S. Charlson Tomas S. Aleman Rebecca T. Salvo Dina Y. Gewaily Marisa K. Lau Neil D. Farren Stephanie B. Engelhard Maxwell Pistilli Alexander J. Brucker | 2015 | Retina2015，，： | 1 |
| 13 | Confirmation of an association between RFLPs at the transforming growth factoralpha locus and non-syndromic cleft lip and palate显示文摘 | Holder SE Vintiner GM Farren B | 1992 | J Med Genet1992，29，6： | 1 |
| 14 | Tazobactam-induced haemolytic anaemia, possibly caused by non-immunological adsorption of IgG onto patient's red cells显示文摘 | Broadberry RE Farren TW Bevin SV | 2004 | Transfus Med2004，14，1： | 1 |
| 15 | Scoping workplace aggression in nursing: Findings from an Australian study显示文摘 | Farren GA Bobrowski C Bobrowski P | 2006 | J Adv Nurs2006，55，6： | 1 |
| 16 | Simultaneously reducing latency and power consumption in Open Flow switches显示文摘 | CONGDON P T MOHAPATRA P FARRENS M | 2014 | IEEE/ACM Transactions on Networking2014，22，3： | 1 |
| 17 | Green chemistry: science and politics of change显示文摘 | Poliakoff M Fitzpatrick J M Farren T R | 2002 | Science2002，297，： | 1 |
| 18 | Green Chemistry Science and Politics of Change显示文摘 | Poliakoft M Fitzpatrick J M Farren T R | | 0，，5582： | 1 |
| 19 | Power, uncertainty, self- transcendence, and quality of life in breast cancer survivors显示文摘 | Farren AT | 2010 | Nuts Sci Q2010，23，1： | 1 |
| 20 | Characterization of silkworm chlorophyll metabolites as an active photosensitizer for photodynamic therapy 显示文摘 | DAI R SHOEMAKER R FARRENS D | 1992 | J Nat Prod1992，55，9： | 1 |
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